
[CBC뉴스] DN솔루션즈가 반도체 산업에 필수적인 고정밀 연삭가공기 'DNC 시리즈'를 새롭게 선보였다. 이번에 출시된 'DNC 시리즈'는 반도체 웨이퍼 공정에 사용되는 포커스링 등 소모성 부품을 정밀하게 가공할 수 있도록 설계됐다. 특히 석영과 세라믹 등 가공이 까다로운 소재를 고품질로 가공할 수 있는 것이 특징이다.
DN솔루션즈는 이 장비를 통해 석영과 세라믹 같은 난삭재를 고속으로 정밀하게 가공할 수 있는 고성능 연삭 스핀들을 개발했다. 최대 10,000rpm의 속도와 7.5kW의 고출력을 자랑하는 이 스핀들은 진동과 열로 인한 오차를 최소화하며, 장시간 연속 가공에서도 정밀도를 유지할 수 있도록 설계됐다.
장비 내부에는 석영 미세 분진이 들어가지 않도록 슬라이딩 커버 구조를 적용하고, 일자형 탈착식 절삭유 탱크를 도입해 유지보수가 용이하도록 했다. 또한, 공구 드레싱 전용 핀들을 내장해 자동으로 공구 드레싱을 할 수 있어 생산성을 높였다.
DN솔루션즈 관계자는 이번 'DNC 시리즈' 출시로 반도체 장비 국산화와 기술 경쟁력 강화에 큰 역할을 할 것이라고 밝혔다. 이미 국내 반도체 소재 가공장비 시장의 상당 부분을 점유하고 있는 DN솔루션즈는 이번 제품을 통해 기술력과 시장 지배력을 더욱 강화할 계획이다.
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▮ CBC뉴스ㅣCBCNEWS 권오성 기자





